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SiP-HFUT/Sip-automatic_probe_station

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硅光芯片自动测试平台

本项目将UBC Michael Caverley 等人创建的pyOptomip 硅光芯片自动测试平台软件进行了扩展,使其进一步支持骏河DS102位移台控制器,进而适用于我们实验室的测试平台。

该软件可实现上百个硅光器件的自动无源光谱测试。这大大的节省了测试的时间。

源代码位于本仓库的pyOptomip_modifed文件夹之中。由郑焱烽([email protected])和冯佳旺([email protected] )完成。一些用户手册包含在本目录下的pyOptomip_modifed_manuals文件夹中。

基本实现思路:

  • 使用垂直光纤阵列进行耦合,测试过程中光纤阵列位置固定
  • 通过电动位移台实现芯片位移的精确控制,从而实现芯片上所有器件的寻找、自动耦合、测试。

目前所用的测试硬件包括:

  • Keysight 光谱测试系统:8163B主机+81960A激光器+N7745A功率计;理论上,该代码也支持Keysight 8164B主机和相关系列的激光模块(如81940A激光模块)和模块式的功率计(如81630B)
  • 芯片承载台(下列顺序由下到上)
    • 骏河电动位移台 KYC06020-G (由骏河DS102控制,可沿xy方向移动),位于最底部,用于精确的控制芯片的位移
    • 两个上下堆叠在一起的弧摆台,用以控制芯片的水平
    • 360度旋转台,用以控制芯片的旋转
    • 芯片台,其中具有真空吸附功能
  • 卤素灯Y分支型冷光源
  • 六维精密位移调节架,其用来控制光纤阵列(测试前用来调节光纤阵列角度、高度等;但自动测试过程中,光纤阵列位置保持固定)
  • 倾斜显微观察系统(一套)

测试台下图所示(左:实物;右:示意图):

该代码的测试流程如下图所示

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